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       微納加工技術(shù)開發(fā)微流控生物芯片和相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)和量產(chǎn)，通過設(shè)計和模擬降低開發(fā)成本，再主要采用MEMS微納加工技術(shù)（光刻、鍍膜、刻蝕，鍵合等工藝，實現(xiàn)SI基芯片），加工制備芯片模芯，產(chǎn)品可以用于光通信，成像領(lǐng)域，以及生化反應(yīng)，藥物篩選等生命健康領(lǐng)域，并可用于細(xì)菌環(huán)境檢測等領(lǐng)域。